Positioning and Scanning

C1a X轴位移台, 100 µm

行程 >100 µm

刚性好且动态性能高

尺寸 40x40x20 mm

C1a X轴位移台, 250 µm

行程 >300 µm

尺寸 40x40x20 mm

C1a X轴位移台, 600 µm

行程 >700 µm

60x60x21.5 mm

LP_ X/Z位移台, 45/90µm高速

行程 45/90 µm

高速

2个安装面

LP_ X/Z-位移台100-1000µm

100/300/600/1000 µm

紧凑

2个安装面

CPa Z轴位移台，100 µm

行程 >100 µm

刚性且动态性能好

尺寸 40x40x30 mm

CPa Z轴位移台，250 µm

行程 >300 µm

尺寸 40x40x30 mm

CPa Z轴位移台，500 µm

行程 500 µm

尺寸 60x60x29 mm

C2a XY-位移台, 100 µm

100×100 µm 行程

刚性好，动态性能高

尺寸 40x40x30 mm

C2a XY-位移台, 250 µm

300×300 µm 行程

尺寸 40x40x30 mm

提供无磁性版本

C2a XY-位移台, 600 µm

720×720 µm 行程

尺寸 60x60x33 mm

L2C XY-位移台100-1200µm

100 至 1200 µm 行程

电容传感器

紧凑，超高精度

L2C XY平台 100µm带通孔

100 µm 行程

电容传感器

大通光孔径，高动态性能

L2_ XY平台300-600µm带通孔

300 或 600 µm 行程

电容或应变传感器

大通光孔径，扫描平台

L2S XY平台 1mm带通孔

1×1 mm行程

大通光孔径

高动态性能

C3a CUBE XYZ-位移台, 100 µm

100x100x100 µm

40x40x44 mm

高刚性且动态响应快

C3a CUBE XYZ-位移台, 250 µm

300x300x300 µm

尺寸 40x40x44 mm

可提供无磁性版本

C3a CUBE XYZ-位移台, 600 µm

720x720x600 µm

尺寸 60x60x52 mm

L3C XYZ-位移台100 µm带通孔

XY 100×100 µm

Z 20/50/100 µm

扫描位移台，高动态性能

L3_ XYZ位移台, 300 µm,

通光孔径

XY 300×300 µm

Z 20/50/100/300 µm

扫描位移台

L3_ XYZ位移台, 600 µm,

通光孔径

XY 600×600 µm

Z 20/50/100/300 µm

扫描位移台

SPS 样品 Z 轴平台

Z 轴样品台

150/600 µm

可选样品架

SPS 样品 Z 轴嵌入件

Z 轴嵌入台

120/250/500 µm

可选样品架

OBJ 物镜转接环

物镜转接环

所有标准螺纹

公制，非标准英制，混合制