XY压电纳米位移台100µm
C2a XY-Stages, 100 µm
- 行程：>100×100 µm
- 特性：高刚性且动态性能好
- 尺寸：40x40x30 mm
Specification产品规格
| 产品编号 | C2O-L00100 | C2S-D00100 | 单位 |
|---|---|---|---|
| 位置传感器 | – | SGS | |
| 行程 (-45..180 V) | 120×120 | 120×120 | µm |
| 行程，闭环 | – | 100×100 | µm |
| 分辨率，开环 | 0.5 | 0.5 | nm |
| 分辨率，闭环 | – | 1 | nm |
| 线性度，闭环 | – | 0.2 | % |
| 重复性，闭环 | – | 10 | nm |
| 系统性串扰 | 200 | nm | |
| 负载 | 500 | g | |
| 推力/拉力 | 15-Oct | N | |
| 刚度 | 1.5 | N/µm | |
| 最低谐振频率，空载 | 370 | Hz | |
| 最低谐振频率，带 30g 负载 | 310 | Hz | |
| 电容 @ 1V 有效值 1kHz | 2.2/轴 | µF | |
| 主体材料 | 铝，不锈钢 | ||
| 尺寸 | 40x40x30 | mm | |
| 线缆长度 | 1.5 | m | |
| 连接器 | Lemosa | DSub | |
| 工作温度 | -20.. 80 | °C |
可选项:
- 提供真空兼容版本以及无磁版本
- 适配的驱动LPO, EBO-060100
- 适配的控制器, LPS, EBD-060320
尺寸图
