MegaFocus 大行程Z向调焦纳米定位台
MegaFocus 1200 µm
- 1200 微米（通常指行程或位移范围）
- 结构紧凑 / 体积小巧
- 多种适配器 / 兼容多种转接件
SF_ MegaFocus 是一系列专为显微镜物镜设计的定位器/扫描仪，其行程长达 1200 µm。通过标准内六角螺钉将设备夹紧在顶部适配器上，即可实现简便的安装与更换。MegaFocus 定位器配备了电容式传感器，以实现最高的定位精度。当然，我们也提供开环版本。
Specification产品规格
| 产品代码 | SFC-D21200 | 单位 |
|---|---|---|
| 位置传感器 | 电容式 | |
| 行程，闭环 | 1200 | µm |
| 分辨率，闭环 | 6 | nm |
| 线性度，闭环 | 0.02 | % |
| 重复性，100 µm | 60 | nm |
| 俯仰/偏航 | 60 | µrad |
| 推/拉 | 10 | N |
| 负载 | 150 | g |
| 刚度 | 0.07 | N/µm |
| 谐振频率，空载 | 200 | Hz |
| 谐振频率，带 150g 负载 | 100 | Hz |
| 电容量 @ 1V 有效值, 1kHz | 13 | µF |
| 主体材料 | 铝/不锈钢 | |
| 线缆长度 | 1.5 | m |
| 工作温度 | -20..80 | °C |
可选项:
- 真空兼容性
- 适用的开环驱动器：EBO-060100
- 适用的闭环控制器：EBD-060310
尺寸图
