XY中孔纳米位移台100µm
L2C XY-Stage, 100µm, Aperture
- 100 微米
- 电容式传感器
- 大通光孔径
- 高动态
L2C-D10100 是一款高动态 XY 轴扫描位移台。它配备了电容式位置传感器，以实现极高的定位精度。其采用的高精度无摩擦柔性导轨设计，使得交叉耦合（串扰）几乎为零，从而保证了极其优异的运动平面度。该位移台拥有 66×66 毫米的超大通光孔径，方便从上方和下方对样品进行操作。此外，这些 XY 轴位移台还提供集成 Z 轴的型号以及长行程版本。
Specification产品规格
| 产品编号 | L2C-D10100 | 单位 |
|---|---|---|
| 位置传感器 | 电容式 (Cap) | |
| XY轴范围，闭环 | 100×100 | µm |
| 分辨率，闭环 | 0.5 | nm |
| 线性度，闭环 | 0.02 | % |
| 重复性 | 5 | nm |
| 谐振频率，空载 | 1100 | Hz |
| 谐振频率，带2.5 kg负载 | 500 | Hz |
| 负载 | 3 | Kg |
| 推/拉，Z轴方向 | 50/20 | N |
| 电容量 @ 1Veff 1kHz | 13.2 | µF |
| 主体/平台材质 | 铝，黑色 | |
| 重量 | 1 | kg |
| 工作温度 | -20.. 80 | °C |
| 连接器 | DSub25 | |
| 线缆长度 | 1.5 | mm |
可选项:
- 提供真空兼容版本以及无磁版本
- 适用的控制器：EBC-120320
尺寸图
