SFS 超薄z向调焦纳米定位台
SFS SlimFocus
- 行程：200 微米
- 快速
- 紧凑
- 多种适配器
SFS-D00200 SlimFocus 旨在为显微镜用户在物镜或其他探针周围提供自由空间。其行程范围为 200 µm。
Specification产品规格
| 产品代码 | SFS-D00200 | 单位 |
|---|---|---|
| 位置传感器 | SGS，全桥 | |
| 行程，闭环 | 200 | µm |
| 行程，开环 (-45..180 V) | 250 | µm |
| 分辨率，开环 | 1 | nm |
| 分辨率，闭环 | 2 | nm |
| 线性度，闭环 | 0,2 | % |
| 重复性 | 20 | nm |
| 负载 | 130 | g |
| 推/拉，最大 | 5-Oct | N |
| 侧向力，最大 | 5 | N |
| 刚度 | 0,1 | N/µm |
| 谐振频率，带螺纹适配器 | 200 | Hz |
| 谐振频率，带 125 g 物镜 | 80 | Hz |
| 电容 @ 1V 有效值, 1kHz | 2.2 | µF |
| 主体材料 | 铝/不锈钢 | |
| 重量，不含/含螺纹适配器 | 80/140 | g |
| 工作温度 | -20..+80 | °C |
可选项:
- 真空兼容性
- 适用的开环驱动器：EBO-060100
- 适用的闭环控制器：EBD-060310
尺寸图
