SPS Z向嵌入式样品台
SPS Sample Z-Inserts
- Z轴插入式位移台
- 120 / 250 / 500 微米
- 可选配样品支架
SPS 插入式位移台是扁平的 Z 轴位移台，可集成到大多数标准的显微镜 XY 轴位移台中。它们能够沿光轴提供最精确的定位。SPS 插入式位移台提供 120、250 和 500 微米三种不同的行程规格。所有规格的 dimensions 尺寸均相同。其 128.5 x 86.5 毫米的通光孔径可承载选配的样品及培养皿支架。
Specification产品规格
| 产品编号 | SPS-D10120 | SPS-D10250 | SPS-D10500 | 单位 |
|---|---|---|---|---|
| 位移传感器 | 应变片，全桥 | |||
| 位移，闭环 | 120 | 250 | 500 | µm |
| 位移 (-30..160 V) | 150 | 320 | 650 | µm |
| 分辨率，开环 | 0.4 | 0.8 | 2 | nm |
| 分辨率，闭环 | 0.6 | 1.3 | 3 | nm |
| 线性度，闭环 | 0.1 | % | ||
| 重复性，闭环 | 6 | 13 | 25 | nm |
| 推/拉 | 50/20 | 40/15 | 40/15 | N |
| 谐振频率，空载 | 380 | 250 | 150 | Hz |
| 谐振频率，125g 负载 | 270 | 180 | 110 | Hz |
| 谐振频率，250g 负载 | 220 | 140 | 90 | Hz |
| 电容量 @ 1V 有效值 1kHz | 4.4 | 8.8 | 13.2 | µF |
| 电气连接 | D-Sub 15 | |||
| 尺寸，长 x 宽 x 高 | 220 x 135 x 27.3 | mm | ||
| 通光孔径，长 x 宽 | 128.5 x 86.5 | mm | ||
| 主体材质 | 铝，黑色阳极氧化 | |||
| 工作温度 | -20..80 | °C |
可选项:
- 真空兼容性
- 适用的开环驱动器：EBO-060100
- 适用的闭环控制器：EBD-060310
尺寸图
