SFC Z向调焦纳米定位台
SFC StraightFocus 100-800 µm
- 行程：100 / 400 / 800 微米（通常指行程/位移范围）
- 直线导向 / 直线导轨引导
- 电容式或应变传感器
SFC StraightFocus 是一系列专为显微镜物镜设计的大行程定位器/扫描仪。其可选的位移范围为 100 至 800 µm。StraightFocus 的核心特色在于其导向系统，该系统经过专门优化，以确保运动轨迹的极高直线度。通过标准内六角螺钉将设备夹紧在顶部适配器上，即可实现简便的安装与更换。StraightFocus 提供开环版本，或配备电容式传感器（SFC）的版本——后者专为满足最高精度需求而设计。
Specification产品规格
| 产品代码 | SFC-D20100 | SFC-D20400 | SFC-D20800 | 单位 |
|---|---|---|---|---|
| 行程，闭环 | 100 | 400 | 800 | µm |
| 行程，开环 (-45..180 V) | 120 | 480 | 960 | µm |
| 分辨率 | 0.5 | 2 | 4 | nm |
| 线性度，SFC | 0.02 | % | ||
| 俯仰/偏航 | 10 | 30 | 60 | µrad |
| 重复性，SFC | 10 | 30 | 50 | nm |
| 推/拉 | 15/20 | 15/20 | 20-Oct | N |
| 刚度 | 0.5 | 0.25 | 0.09 | N/µm |
| 谐振频率，空载 | 680 | 400 | 230 | Hz |
| 电容 @ 1V 有效值, 1kHz | 1.1 | 3.3 | 6.6 | µF |
| 主体材料 | 铝/不锈钢 | |||
| 工作温度 | -20..80 | °C |
可选项:
- 真空兼容性
- 适用的开环驱动器：EBO-060100
- 适用的闭环控制器：EBD-060310
尺寸图
