Z向纳米位移台100µm
CPa Z-Stages, 100 µm
- 行程 >100 µm
- 高刚性且动态性能好
- 尺寸 40x40x30 mm
CPO-L00100 和 CPS-D00100 是尺寸极小的紧凑型 Z 轴位移台。其占地面积（底面尺寸）仅为 40×40 毫米。
Specification产品规格
| 产品型号 | CPO-L00100 | CPS-D00100 | 单位 | 容差 |
|---|---|---|---|---|
| 位置传感器 | SGS，全桥 | |||
| 闭环行程 | - | 100 | µm | ±10% |
| 开环行程 (0..150 V) | 75 | 75 | µm | ±10% |
| 开环行程 (-45..180 V) | 120 | 120 | µm | ±10% |
| 开环分辨率 | 0.5 | 0.5 | nm | RMS |
| 闭环分辨率 | - | 1 | nm | RMS |
| 闭环线性度 | - | 0.2 | % | typ. |
| 重复精度 | - | 10 | nm | typ. |
| 推/拉力 | 15/10 | 15/10 | N | max. |
| 侧向力 | 10 | 10 | N | max. |
| 刚度 | 1.5 | 1.5 | N/µm | ±20% |
| 无负载下自振频率 | 370 | 370 | Hz | ca. |
| 自振频率, 带100 g 负载 | 310 | 310 | Hz | ca. |
| 电容@ 1V eff, 1kHz | 2.2 | 2.2 | µF | ±10% |
| 壳体材料 | 铝合金, 不锈钢 | 铝合金, 不锈钢 | ||
| 线长 | 1.5 | 1.5 | m | +-1% |
| 接头 | Lemo | DSub15 | ||
| 工作温度 | -20..+80 | -20..+80 | °C | °C |
可选项:
- 提供真空兼容版本以及无磁版本
- 适配的驱动LPO, EBO-060100
- 适配的控制器, LPS, EBD-060310
尺寸图
