IDS3010激光干涉位移传感器配件
为了全面赋能客户应用，attocube 与动智精密强强联合，精心打造了一套包含光学、机械、电学等多元化的配件生态。从精密的光学镜片、微型角反镜，到复杂的多轴/角度测量机械结构及同步采集系统一应俱全。我们以丰富的产品组合和专业的售前服务，为您量身定制完整的测量解决方案。
核心应用领域：
- 半导体制造： 满足高精尖制程需求，包括多点面型检测、掩膜版与晶圆的相对位置精密控制，以及运动模组的实时位置反馈与闭环控制。
- 航空航天： 适用于关键部件的热弹性形变高精度测量，以及大型桁架结构的远距离形变与位移监测。
- 大科学装置与特殊环境： 完美适应同步辐射光源、超高真空腔体、强磁场等极端环境。广泛应用于光束线光学元件的精密监测，以及复杂机械部件间的相对位置实时追踪。
法兰
feedthrough
专为超高真空（UHV）应用打造，我们提供搭载 FC/APC 光纤馈通的 CF40 真空法兰。每个法兰可灵活配置 1 到 3 个馈通通道。其卓越的密封性能可确保高达 5×10⁻¹¹ mbar 的极限真空度，并支持 180 °C 烘烤除气，完美满足严苛的真空环境需求。
环境补偿单元
Environmental Compensation Unit – ECU
为了降低因空气折射率变化引起的位置误差，attocube 提供了环境补偿单元（ECU）。通过对环境参数进行局部测量，在空气中通常可实现优于 ±1 ppm 的精度。该 ECU 与所有 IDS 型号设备即插即用兼容，并支持螺丝固定或磁吸安装。
光纤
Fiber
干涉仪系统均采用全光纤设计，不仅在日常环境条件下使用便捷，同样完美适用于各类极端环境。因此，我们提供种类丰富的标准光纤及定制光纤供您选择。
可以定制任意长度的光纤，以及0.9mm半径，3mm半径以及铠装光纤等。
兼容环境：
- /RT（常规环境）：0 .. 100 °C，1×10⁻⁴ mbar .. 10 bar
- /HV（高真空）：0 .. 150 °C，1×10⁻⁸ mbar .. 10 bar
- /UHV（超高真空）：0 .. 150 °C，1×10⁻¹⁰ mbar .. 10 bar
- /LT（低温）：mK .. 423 K (150 °C)，1×10⁻⁴ mbar .. 10 bar
- /RAD（耐辐射）：0 .. 150 °C，最高辐射剂量可达 10 MGy”
角反镜
Retroreflectors
角反射器（Retroreflectors）适用于大动态工作范围的应用场景，如晶圆台位置追踪、工业加工或三坐标测量机（CMM）。其工作范围最远可达 5000 mm。
我们提供丰富多样的角反射器产品线，以满足不同应用场景的需求。产品涵盖裸结构金属角反镜、裸结构棱镜角反镜，以及采用多种材质并配备专用安装结构的型号。此外，我们还提供带有 XY 轴平移调整机构的精密角反镜。针对微型化应用，我们更推出了尺寸最小仅为 3 mm 的超紧凑角反镜。
平面反射镜
Plane Mirrors
平面反射镜适用于对尺寸要求苛刻（需微型化），且必须具备真空/低温兼容性的应用场景。产品提供多种标准尺寸，也可根据需求定制，最长可达 400 mm
源于基础科学研究领域，attocube 不仅在常规环境中，更在极端条件下，对材料特性与应用技术有着深刻的理解。依托将复杂科学装置转化为易用工业产品的核心能力，attocube 与当今的技术先驱们携手合作，成功研发出市场上首款商用光纤干涉仪。
其模块化设计使得尖端的干涉测量性能得以应用于各种场景，即便是在极端环境中也能发挥出色表现，并能灵活集成至空间受限的设备与系统中。
Customized Accessories for OEM application
定制探头光路结构
我们提供全方位的售前技术支持，致力于解决各类复杂与特殊应用需求。在精密装配方面，我们提供传感器测头及光学反射器件的专属装夹与调整方案设计。此外，针对多探头安装、高精度测角及复杂面型测量等特殊应用，我们能够提供从局部组件到整体机械结构的一站式定制化设计服务。