皮米精度激光干涉仪

认证精度
10 ppb 真空波长精度，10 ppb 波长稳定性

10 年使用寿命和低维护成本
DFB 激光器与高精度参考气室的独特组合

紧凑和模块化设计
3 轴测量，传感器探头小至 Ø 1.2 mm

兼容真空和洁净室环境
10⁻¹⁰ mbar .. 10 bar（压力范围），几 mK .. 423 K（温度范围）

IDS3010（皮米激光干涉仪）可测量纳米级范围内的位移（增量距离）。IDS3010 模块化且微型化的设计，使其能够轻松地将所有三个测量轴适应于各种各样的应用。
凭借其紧凑的尺寸，IDS3010 位移测量干涉仪可以直接集成到机器中，是极具挑战性的 OEM（原始设备制造商）和同步加速器应用的首选产品。被动冷却的外壳最大限度地减少了噪声和振动，并避免干扰其他光学和电气元件。
对于空间更加受限的应用，传感器探头可以远程操作并通过玻璃纤维互连。该位移测量干涉仪采用的法布里-珀罗（Fabry-Perot）技术（点击此处了解更多关于底层技术的信息，包括各种干涉仪概念），使得传感器探头所需的组件更少，从而实现了更稳定的测量。
广泛的数字和模拟实时接口及协议，使得位置数据的简单传输成为可能。用于实时数据通信的高速接口包括 AquadB、专有串行字（HSSL）、合成模拟 sin/cos 以及线性模拟输出信号。所有信号既可以作为单端（LVTTL）输出，也可以作为差分（LVDS）输出。

Specification产品规格

传感器
类型	基于光纤的激光干涉测量系统
传感器探头环境兼容性	环境大气、超高真空 (UHV)、低温
传感器轴数	3
工作距离	0 – 5 m（具备可选长距离功能时可达 30 m）
目标反射率	4 - 100 %
最大目标速度	2 m/s
最大测量带宽	10 MHz
传感器分辨率	1pm
噪声	见表第 2 页 ¹
波长精度 (10年)	10 ppb = 10 nm/m (k = 1) ²
环境补偿精度	200 ppb (k = 1) ²
周期性非线性误差 (峰峰值)	保证值 5 nm ³，典型值 3 nm ³
激光频率稳定性 (60小时)	10 ppb = 10 nm/m (k = 1) ²
激光等级	1
预期寿命	10 年 ²
平均无故障时间 (电子设备)	51 年 ²
预热时间	不需要
绝对位置参考	微米级（高度取决于装置稳定性）
接口
模拟接口	sin/cos，线性模拟（可选）
数字接口	AquadB, HSSL, BiSS-C（可选）
实时接口带宽	最高 25 MHz
分辨率 sin/cos (增量式)	可自由分配；1 pm - 2^24 pm
分辨率 AquadB (增量式)	可自由分配
分辨率 HSSL (绝对式)	8 - 48 位
软件和通信接口
网页浏览器	无需软件驱动程序，所有功能均可通过以太网访问
API	C, C#, LabVIEW, Python, MATLAB, JSON-RPC
WAVE-软件（可选）	数据流传输和测量可视化（最高 1 MHz）
控制器硬件
机箱	55 x 52 x 195 mm³
重量	730 g
电源	12 VDC
功耗	8 W
激光源（测量激光）	DFB 激光器
激光输出功率（测量激光）	最大 400 µW
激光波长（测量激光）	1 530 371 078 fm
激光源（对准激光）	激光二极管
激光输出功率（对准激光）	< 0,5 mW
激光波长（对准激光）	650 nm
波长参考	乙炔气体吸收池
控制器运行环境	环境条件