LP_ X/Z-Stages直驱纳米位移台
开环LPO/应变片传感器LPS/电容传感器LPC 45/90 µm, fast
- 行程：45/90 µm
- 响应快速
- 配备 2 个平台
LP_ 系列直线位移台专为最高精度的快速定位而设计。这一卓越性能得益于以下设计：
- 不锈钢机身
- 柔性铰链对称导向结构
- 压电陶瓷直驱技术
该位移台提供两个用于安装定位对象的平台：一个位于顶部，另一个位于前端。使用前端平台可获得最佳精度，因为所有关键组件（执行器、导向机构、传感器和被测对象）均处于同一轴线上。
该系列提供 2 种行程规格，且每种规格均有 3 种配备不同位置测量传感器的版本：
- LPO：无传感器版本
- LPS：配备应变片传感器版本
- LPC：配备电容式传感器版本
Specification产品规格
| 产品型号 | LPa-b00045 | LPa-b00090 | 单位 | 容差 |
|---|---|---|---|---|
| 开环行程(0..150 V) | 45 | 90 | µm | ±10% |
| 开环行程(-45..180 V) | 72 | 143 | µm | ±10% |
| 开环分辨率, LPO | 0.2 | 0.4 | nm | typ. |
| 闭环分辨率, LPS | 1 | 2 | nm | typ. |
| 闭环分辨率, LPC | 0.3 | 0.5 | nm | typ. |
| 位置线性度 , LPS | 0.2 | 0.2 | % | typ. |
| 位置线性度 , LPC | 0.02 | 0.02 | % | typ. |
| 重复精度, LPS | 5 | 10 | nm | typ. |
| 重复精度, LPC | 4 | 8 | nm | typ. |
| 推/拉力 | 200/25 | 200/25 | N | max. |
| 刚度 | 21 | 10 | N/µm | typ. |
| 无负载下自振频率 | 3,000 | 2,000 | Hz | typ. |
| 电容@ 1V eff. 1kHz | 3.3 | 6.6 | µF | typ. |
| 壳体材料 | 不锈钢 | |||
| 接头 | LPO: Lemosa LPS 以及LPC: DSub15 | |||
| 工作温度 | -20..80 | °C |
可选项:
- 提供真空兼容版本以及无磁版本
- 适配的驱动LPO, EBO-060100
- 适配的控制器, LPS, EBD-060310
- 适配的控制器, LPC, EBC-120310
尺寸图
