产品应用

APPLICATIONS

从深空望远镜到晶圆工件台，动智精密的六轴并联系统与皮米激光干涉仪已服务于全球 45+ 个前沿应用场景。

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六轴系统激光干涉仪陶瓷电机平移台压电纳米平移台音圈快反镜

PRODUCT LINE 01

六轴/六自由度高精度并联系统应用HEXAPOD APPLICATION

从公斤级到吨级负载、亚微米级精度，覆盖空间模拟、天文观测、同步加速器、工业测试与医疗仿真等各类复杂工况。

空间应用
SPACE
12 CASES
 
天文与大科学装置
ASTRONOMY & BIG SCIENCE
3 CASES
 
同步加速器
SYNCHROTRON
4 CASES
 
工业 · 能源
INDUSTRY & ENERGY
2 CASES
 
特种环境与医疗
SPECIAL ENV & MEDICAL
3 CASES
 
汽车工业
AUTOMOTIVE INDUSTRY
3 CASES
 

APPLICASION

皮米激光干涉仪应用

INTERFEROMETER APPLICATION · IDS3010

PRODUCT LINE 02

皮米激光干涉仪应用INTERFEROMETER APPLICATION

皮米级分辨率、优于纳米级重复精度，服务于半导体光刻、精密制造质量控制、大科学装置与极端环境测量。

半导体与光刻
SEMICONDUCTOR
3 CASES
 
精密制造与测量
PRECISION METROLOGY
7 CASES
 
同步辐射与极端环境
SYNCHROTRON
5 CASES
 
天文应用
ASTRONOMY
1 CASES