Hexapod Synchrotrons Application

同步辐射应用 六轴并联定位台:对特定和苛刻需求的回应

同步加速器高真空衍射仪

二次真空兼容性(10-6毫巴)TANGO项目

Symetrie的六自由度并联定位平台特别适合同步加速器的特定和苛刻的需求。
它们可以对准各种组件:样品,镜子,真空室等,具有高分辨率,高稳定性和高刚度。
支持定制,并且可以将六自由度并联定位平台控制集成到第三方软件中。

项目背景

同步加速器soleil的Sirius光束线专门研究半导体纳米结构和功能氧化物,通过常规和掠入射条件(gixrd, gixafs, refrefafs, dafs等)的软X射线衍射和光谱学。
为了改进他们的设备并提供新的实验能力,Sirius beamline决定在瑞典研究委员会(vetenskapsrÅdet Max iv – soleil合作)和法兰西岛地区(“FORTE”, DIM-OXYMORE)的帮助下获得一个高真空衍射仪。

客户要求

Symetrie为SIRIUS光束线提供高真空衍射仪,该衍射仪集成了高精度高真空BORA样品定位六自由度平台和四个Huber高真空旋转台,以及更大的定制JORAN六自由度定位平台。

项目规格

■10- 6mbar高真空用于BORA样品定位六自由度平台和四个高真空旋转台
■样本调整非常便利,可实现4个自由度的大范围旋转
■采用BORA六自由度平台的超高真空滑环,便于电缆管理
■BORA六自由度平台分辨率:0.1µm, 2µrad
■与SOLEIL同步加速器合作开发的TANGO控制

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高真空衍射仪安装

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带控制器的高真空衍射仪

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SOLEIL同步加速器用真空衍射仪。1个BORA六自由度平台和四个HUBER高真空旋转台在JORAN六自由度平台的真空腔内

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JORAN六轴并联定位台

JORAN Six-Axis Parallel Positioning Stage

专为高达 400 公斤有效负载设计,分辨率仅 0.1 微米。XY 方向 400 毫米,Z 方向 300 毫米,旋转方向 40 度。

集成热膨胀系数极低的invar元件、直线绝对编码器执行机构以及高刚性铰链设计,具备无与伦比的精度和热稳定性。

可适用于任意方向:垂直、水平、倒置等。