Hexapod同步加速器衍射仪
定位样品和检测器
Symetrie的六自由度并联定位平台特别适合同步加速器的特定和苛刻的需求。
它们可以对准各种组件：样品，镜子，真空室等，具有高分辨率，高稳定性和高刚度。
支持定制，并且可以将六自由度并联定位平台控制集成到第三方软件中。
项目背景
ESRF同步加速器拥有最先进的设备，为工业和研究机构提供原子尺度的实验。
crg-if bm32光束线专门用于研究空气或超高真空下的界面和表面的x射线散射技术。
这条光束线主要供给一个由原子能委员会（cea）和法国国家科学研究中心（cnrs）的科学家组成的团队的。
客户要求
CEA-CNRS的联合研究小组使用一套衍射仪研究表面生长过程中的纳米结构，该衍射仪已投入使用达20年。由SYMETRIE来提供更优秀的设备。
新的衍射仪有两个主要功能：
■样品定位：样品在光束轨迹上进行调整，可以在6个自由度内移动，通过BREVA六自由度并联定位平台来调整光束的入射角。
■探测器定位：为了收集表征样品晶体结构的衍射x射线，探测器在样品周围的球面上自由移动。
项目规格
■易于进入超高真空腔
■臂形探测器角速度：20°/s
■球体样品：50µm
■球体检测器：100µm
■BREVA六自由度并联平台分辨率：1µm， 0.001°
ZONDA六轴并联定位台
ZONDA Six-Axis Parallel Positioning Stage
专为高达 400 公斤有效负载设计，分辨率仅 0.1 微米。XY 方向 400 毫米，Z 方向 300 毫米，旋转方向 40 度。
集成热膨胀系数极低的invar元件、直线绝对编码器执行机构以及高刚性铰链设计，具备无与伦比的精度和热稳定性。
可适用于任意方向：垂直、水平、倒置等。