IDSH/D12/F2.8/RT
IDSH/D12/F2.8/RT
Ø 12 mm, length 32.3 mm
D12/F2.8传感器头凭借高角公差、小光斑尺寸以及传感器头与目标之间的短距离而表现出色。它用于直接在表面上进行测量，例如捕捉表面结构（轮廓测量）。
该传感器头适用于环境条件，并包含一根玻璃光纤（长度：5米），用于将传感器头连接到干涉仪控制器。
| 传感器头 | |
|---|---|
| 光学类型 | 聚焦型 |
| 尺寸 | Ø 12 mm, 长度32.3mm |
| 重量 [g] | 8.8 |
| 安装方式 | 夹紧式 |
| 光斑尺寸 | 14µm |
| 焦距 [mm] | 2.8 |
| 焦距处典型光束直径[µm] | ~ 14 |
| 连接器 | FC/PC |
| 工作范围 (目标: 玻璃) [mm] | 2.8(±4µm) |
| 角度公差 (目标: 玻璃) [°] | ± 4 |
| 工作范围 (目标: 晶圆) [mm] | 2.8(±14µm) |
| 角度公差 (目标: 晶圆) [°] | ± 7 |
| 工作范围 (目标: 镜面) [mm] | 2.8(±20µm) |
| 角度公差 (目标: 镜面) [°] | ±10 |
| 光纤连接 | FC型螺纹连接 |
| 环境 | |
| 压力 | 环境压力 |
| 温度 | 0 .. 50℃ |
| 主要材料 | |
| 外壳 | 钛合金2级 (3.7035) |
| 镜头 | 玻璃 (带AR C 镀膜) |
| 交付范围 | |
| 光纤 IDS 传感器头 | IDSMF/PC/RT (1009980) |
| 轴数 | 1 |
| 镜面 | Ø 9 mm, 铝涂层 (1010846) |