音圈快反镜
工业级快反镜(半导体应用)
Standard Fast Steering Mirror
FSM20
FSM25
FSM50
FSM25
驱动盒
| 指标项/型号 | FSM20 | FSM25 | FSM50 | FSM75 |
|---|---|---|---|---|
| 运动自由度 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 小步长阶越响应时间(1mrad) | ≤1ms | ≤1ms | ≤2ms | ≤2.5ms |
| 角范围(机械角) | ±1.5° | ±1.5° | ±1.5° | ±1.5° |
| 角分辨率 | ≤1 urad | ≤1 urad | ≤1 urad | ≤1 urad |
| 重复定位精度 | ≤2 urad | ≤2 urad | ≤2 urad | ≤2 urad |
| 线性度 | ≥99.80% | ≥99.80% | ≥99.80% | ≥99.80% |
| 闭环带宽(-3dB@lmrad) | ≥800Hz | ≥800Hz | ≥550Hz | ≥350Hz |
| 工作温度范围 | 0°C~40°C | 0°C~40°C | 0°C~40°C | 0°C~40°C |
| 反射镜面形 | 根据用户需求定制 | 根据用户需求定制 | 根据用户需求定制 | 根据用户需求定制 |
| 静态功耗 | 3.5W | 3.5W | 4.8W | 5W |
| 控制方式 | 模拟/数字控制 | 模拟/数字控制 | 模拟/数字控制 | 模拟/数字控制 |
| 电源需求 | ±15VDC @3A RMS (MAX) | ±15VDC @3A RMS (MAX) | ±15VDC @3A RMS (MAX) | ±15VDC @5A RMS (MAX) |