SFS 大扫描范围Z向调焦纳米定位台
SFS RangeFocus 100-600 µm
- 100/300/600 µm
- 紧凑型
- 多种转接环
SFS RangeFocus 是一系列专为显微镜物镜设计的大行程定位器/扫描仪。其可选的位移范围为 100 至 600 µm。该产品机身高度较低，因此能够在朝向样品的关键方向上节省空间。通过标准内六角螺钉将设备夹紧在顶部适配器上，即可实现简便的安装与更换。RangeFocus 定位器配备了位置传感器，能够实现高线性度和高重复性的精确定位。当然，我们也提供开环版本。
Specification产品规格
| 产品代码 | SFS-D10100 | SFS-D10300 | SFS-D10600 | 单位 |
|---|---|---|---|---|
| 位置传感器 | SGS，全桥 | |||
| 行程，闭环 | 100 | 300 | 600 | µm |
| 行程，开环 (-45..180 V) | 130 | 370 | 680 | µm |
| 分辨率，开环 | 0.5 | 1 | 2 | nm |
| 分辨率，闭环 | 1 | 3 | 6 | nm |
| 线性度，闭环 | 0.2 | 0.2 | 0,2 | % |
| 重复性 | 10 | 28 | 50 | nm |
| 推/拉，最大 | 15/20 | 15/20 | 20-Oct | N |
| 刚度 | 0.38 | 0.22 | 0.2 | N/µm |
| 谐振频率，带螺纹适配器 | 470 | 310 | 250 | Hz |
| 电容 @ 1V 有效值, 1kHz | 1.1 | 3.3 | 6.6 | µF |
| 主体材料 | 铝/不锈钢 | |||
| 工作温度 | -20..80 | °C |
可选项:
- 真空兼容性
- 适用的开环驱动器：EBO-060100
- 适用的闭环控制器：EBD-060310
尺寸图
