SFS Z向快速调焦纳米台
SFS QuickFocus
- 行程：150 微米
- 快速
- 紧凑
- 多种转接环
SFS-D00150 是一款专为显微镜物镜设计的定位器/扫描仪。与市场上的其他产品相比，其优势在于：缩短了机身以提供更充裕的操作空间，并提升了动态性能，从而实现更快的定位/扫描。
Specification产品规格
| 产品代码 | SFS-D00150 | 单位 |
|---|---|---|
| 位置传感器 | SGS，全桥 | |
| 行程，闭环 | 150 | µm |
| 行程，开环 (0..150 V) | 110 | µm |
| 行程，开环 (-45..180 V) | 180 | µm |
| 分辨率，开环 | 1 | nm |
| 分辨率，闭环 | 2 | nm |
| 线性度，闭环 | 0.2 | % |
| 横向偏移，系统性 | 200 | nm |
| 俯仰/偏航 | 15 | µrad |
| 重复性 | 15 | nm |
| 推/拉，最大 | 20-Oct | N |
| 侧向力，最大 | 10 | N |
| 刚度 | 0.5 | N/µm |
| 谐振频率，带螺纹适配器 | 620 | Hz |
| 谐振频率，带 150 g 物镜 | 260 | Hz |
| 电容 @ 1V 有效值, 1kHz | 3.3 | µF |
| 主体材料 | 铝/不锈钢 | |
| 工作温度 | -20..80 | °C |
可选项:
- 真空兼容性
- 适用的开环驱动器：EBO-060100
- 适用的闭环控制器：EBD-060310
尺寸图
