L3C XYZ中孔三轴压电纳米定位台600µm
L3_ XYZ-Stages, 600 µm, Aperture
- XY 600×600 µm
- Z 20/50/100/300 µm
- 扫描应用
L3C 和 L3S 位移台专为扫描和跟踪而设计。其 X 轴和 Y 轴的基本定位范围为 600 微米。这些位移台是原子力显微镜和近场显微镜的理想选择。它们的高度仅为 30 毫米，并提供 66×66 毫米的通光孔径。高精度的无摩擦柔性导轨设计使得交叉耦合（串扰）几乎为零，从而保证了极其优异的运动平面度。我们提供具有不同 Z 轴行程的版本，以满足那些需要更高动态性能和更高分辨率的应用，以及那些需要覆盖更大高度变化的应用。
Specification产品规格
| 产品编号 L3_D10600-.. | XY600Z20 | XY600Z50 | XY600Z100 | XY600Z300 | 单位 |
|---|---|---|---|---|---|
| 位置传感器 | 电容传感器 (L3C)。应变传感器 (L3S) | ||||
| 量程，闭环 | 600/600/20 | 600/600/50 | 600/600/100 | 600/600/300 | µm |
| 量程，开环 (-45.. 180V) | 720/720/24 | 720/720/60 | 720/720/120 | 720/720/360 | µm |
| 分辨率，L3C | 3/0.1 | 3/0.3 | 3/0.5 | 3/1.5 | nm |
| 分辨率，L3S | 6/0.5 | 1-Jun | 1-Jun | 3-Jun | nm |
| 线性度，L3C，XY/Z | 0.02/0.07 | % | |||
| 线性度，L3S | 0.2 | % | |||
| 重复性，L3C | 30-Jan | 30-Mar | 30-May | 30/15 | nm |
| 重复性，L3S | Feb-60 | May-60 | Oct-60 | 60/60 | nm |
| 谐振频率 XY，空载 | 160 | Hz | |||
| 谐振频率 Z，空载 | 550 | 520 | 510 | 410 | Hz |
| 电容 @ 1Veff 1kHz | XY13.2/Z4.4 | XY13.2/Z8.8 | XY13.2/Z13.2 | µF | |
| 尺寸 (长x宽x高) | 150x150x30 | mm | |||
| 孔径，尺寸 (长x宽) | 66×66 | mm | |||
| 主体/平台材料 | 铝。黑色阳极氧化 | ||||
| 工作温度 | -20.. 80 | °C | |||
| 连接器 | DSub25 | ||||
| 线缆长度 | 1.5 m | ||||
可选项:
- 真空兼容和/或无磁
- 配套控制器，L3C，EBC-120330
- 配套控制器，L3S，EBD-060330
尺寸图
