SPS Z向样品台
SPS Sample Z-Stages
- Z轴样品位移台
- 150 / 600 微米
- 可选配样品支架
SPS 样品位移台提供 150 微米和 600 微米两种不同的行程规格。其高度仅为 15 毫米，在显微镜下操作十分便捷。该位移台拥有高达 142 x 110 毫米的超大孔径，可兼容选配的样品及培养皿支架。
Specification产品规格
| 产品编号 | SPS-D00150 | SPS-D00600 | 单位 |
|---|---|---|---|
| 位移传感器 | 应变片 (Strain-Gage) | ||
| 位移，闭环 | 150 | 600 | µm |
| 位移 (-45..180 V) | 180 | 720 | µm |
| 分辨率，闭环 | 1.5 | 6 | nm |
| 线性度，闭环 | 0.20% | % | |
| 重复性，闭环 | 15 | 60 | nm |
| 推力/拉力 | 50/20 | 50/20 | N |
| 谐振频率，空载 | 380 | 250 | Hz |
| 谐振频率，125g 负载 | 270 | 180 | Hz |
| 谐振频率，250g 负载 | 220 | 145 | Hz |
| 电容量 @ 1V 有效值 1kHz | 4.4 | 13.2 | µF |
| 电气连接 | DSub15(公) | ||
| 尺寸，长 x 宽 x 高 | 237 x 156 x 15 | mm | |
| 通光孔径，长 x 宽 | 142 x 110 | mm | |
| 主体材质 | 铝，黑色阳极氧化 | ||
| 工作温度 | -20..+80 | °C |
可选项:
- 支持真空兼容
- 开环适用驱动器：EBO-060100
- 闭环适用控制器：EBD-060310
尺寸图
