XY-1mm大行程中孔纳米位移台
L2S XY-Stage, 1mm, Aperture
- 1×1 毫米
- 大孔径
- 高动态
L2S-D01000 是一款兼具超大行程与大孔径的XY位移台。其运动平台采用轻量化设计。
Specification产品规格
| 产品型号 | L2S-D01000 | 单位 | 容差 |
|---|---|---|---|
| 位置传感器 | SGS, 全桥 | ||
| 闭环行程 | 1000 | µm | ±10% |
| 开环行程 (0..150 V) | 1000 | µm | ±10% |
| 开环行程 (-45..180 V) | 1600 | µm | ±10% |
| 开环分辨率 | 5 | nm | ca., RMS |
| 闭环分辨率 | 10 | nm | ca., RMS |
| 闭环线性度 | 0.2 | % | typ. |
| 重复精度 | 50 | nm | typ. |
| 推/拉力 | 10 | N | max. |
| 负载 | 0.2 | kg | max. |
| 侧向力 | 10 | N | max. |
| 刚度 | 0.2 | N/µm | ±20% |
| 无负载下自振频率 | 105 | Hz | ca. |
| 自振频率, 200 g 负载 | 80 | Hz | ca. |
| 电容@ 1V eff, 1kHz | 19.8/axis | µF | ±10% |
| 壳体材料 | 铝合金或者不锈钢 | ||
| 工作温度 | -20..80 | °C |
可选项:
- 提供真空兼容版本以及无磁版本
- 适配的驱动LPO, EBO-060100
- 适配的控制器, LPS, EBD-060320
尺寸图
