| 产品型号 | L2C-D10100 | 单位 | 容差 |
|---|---|---|---|
| 位置传感器 | 电容(Cap) | ||
| XY闭环行程 | 100x100 | µm | 1% |
| 闭环分辨率 | 0.5 | nm | RMS, typ. |
| 闭环线性度 | 0.02 | % | typ. |
| 重复精度 | 5 | nm | ±, typ. |
| 无负载下自振频率 | 1100 | Hz | ±20% |
| 自振频率, 2.5 kg 预负载 | 500 | Hz | ±20% |
| 负载 | 3 | Kg | max. |
| 推/拉力, 在Z轴方向上 | 50/20 | N | max. |
| 电容@ 1Veff 1kHz | 13.2 | µF | ±10% |
| 壳体/台面材料 | 铝合金，黑色氧化铝表面 | ||
| 自重 | 1 | kg | ca. |
| 工作温度 | -20..+80 | °C | |
| 接头 | DSub25 | ||
| 线长 | 1.5 | mm |
可选项:
- 提供真空兼容版本以及无磁版本
- 适配的控制器,闭环, EBC-120320
