XY电容传感器紧凑型纳米位移台
L2C XY-Stages, 100-1200µm
- 100 至 1200 微米（通常指行程范围）
- 电容式传感器
- 结构紧凑
- 超高精度
L2C-D0xxxx 是紧凑型 XY 压电位移台。行程范围从 100 到 1200 μm。L2C 系列配备了电容式位置传感器，以实现极高的精度。其空间占用被降至最低。高精度的无摩擦柔性导向设计使得串扰近乎为零，并实现了卓越的运动平面度。
Specification产品规格
| 产品型号 | L2C-D00100 | L2C-D00300 | L2C-D00600 | L2C-D01200 | 单位 | 容差 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 闭环行程 | 100 | 300 | 600 | 1200 | µm | ±1% |
| 分辨率 | 0.5 | 1.5 | 3.0 | 6 | nm | RMS, typ. |
| 位置线性度 | 0.02 | 0.02 | 0.02 | 0.02 | % | typ. |
| 重复精度 | 5 | 20 | 40 | 80 | nm | typ. |
| 摆角误差 | ±3 | ±3 | ±6 | ±12 | µrad | typ. |
| 负载 | 1 | 1 | 1 | 1 | kg | max. |
| 推/拉力 | 50/20 | 50/20 | 30/10 | 30/10 | N | max. |
| 刚度 | 1.6 | 0.3 | 0.15 | 0.1 | N/µm | typ. |
| 无负载下自振频率 | 900 | 425 | 225 | 150 | Hz | typ. |
| 电容. /axis @ 1V eff. 1kHz | 2.2 | 3.3 | 4.4 | 13.2 | µF | ±10% |
| 壳体/台面材料 | 不锈钢/铝合金 | 不锈钢/铝合金 | 不锈钢/铝合金 | 不锈钢/铝合金 | ||
| 工作温度 | -20..80 | -20..80 | -20..80 | -20..80 | °C |
可选项:
- 提供真空 兼容版本
- 提供定位销孔
- 适配的控制器:EBC-120320
尺寸图
