| 产品型号 | C2O-L00600 | C2S-D00600 | 单位 | 容差 |
|---|---|---|---|---|
| 位置传感器 | - | SGS | ||
| 开环行程(-45..180 V) | 900x900 | 900x900 | µm | ±10% |
| 闭环行程 | - | 600x600 | µm | |
| 开环分辨率 | 4 | 4 | nm | typ. |
| 闭环分辨率 | - | 6 | nm | typ. |
| 闭环线性度 | - | 0.2 | % | typ. |
| 闭环重复精度 | - | 50 | nm | typ. |
| 推/拉力 | 50/20 | 50/20 | N | max. |
| 刚度 | 0.15 | 0.15 | N/µm | ±10% |
| 无负载下自振频率 | 190/145 | 190/145 | Hz | ±10% |
| 电容@ 1V eff. 1kHz | 4.4/axis | 4.4/axis | µF | ±10% |
| 壳体材料 | 铝合金，不锈钢 | 铝合金，不锈钢 | ||
| 尺寸 | 60x60x33 | 60x60x33 | mm | |
| 线长 | 1.5 | 1.5 | m | |
| 接头 | Lemosa | DSub | ||
| 工作温度 | -20..+80 | -20..+80 | °C | |
可选项:
- 提供真空兼容版本以及无磁版本
- 适配控制, 开环控制器EBO-050100
- 适配的控制器，闭环控制器, EBD-060100
