X纳米位移台 600 µm
C1a X-Stages, 600 µm
- 行程 > 700 µm
- 高刚性且具备高动态性能
- 尺寸60x60x21.5 mm
C1O-L00600 和 C1S-D00600 是紧凑型 X 轴位移台，在实现长达 900 µm 行程的同时，保持了极小的尺寸。其整体尺寸仅为 60×60×21.5 mm。
Specification产品规格
| 产品型号 | C1O-L00600 | C1S-D00600 | 单位 | 容差 |
|---|---|---|---|---|
| 位置传感器 | - | SGS | ||
| 开环行程(-45..180 V) | 900 | 900 | µm | ±10% |
| 闭环行程 | - | 600 | µm | ±0.2% |
| 开环分辨率 | 4 | 4 | nm | typ. |
| 闭环分辨率 | - | 6 | nm | typ. |
| 闭环线性度 | - | 0.2 | % | max. |
| 闭环重复精度 | - | 50 | nm | typ. |
| 负载 | 200 | g | max. | |
| 推/拉力 | 50/20 | N | max. | |
| 刚度 | 0.15 | N/µm | ±10% | |
| 无负载下自振频率 | 190 | Hz | ±10% | |
| 电容@ 1V eff. 1kHz | 4.4/axis | µF | ±10% | |
| 壳体材料 | 铝合金，不锈钢 | |||
| 尺寸 | 60x60x21.5 | mm | ||
| 线长 | 1.5 | m | ||
| 接头 | Lemosa | DSub15 | ||
| 工作温度 | -20..+80 | °C |
可选项:
- 提供真空兼容版本以及无磁版本
- 适配控制, 开环控制器EBO-060100
- 适配的控制器, 闭环控制器, EBD-060310
尺寸图
