X纳米位移台 100 µm
C1a X-Stages, 100 µm
- 行程 > 100 µm
- 高刚性且具备高动态性能
- 尺寸 40 x 40 x 20 mm
C1O-L00100 和 C1S-D00100 是尺寸极小的紧凑型 X 轴位移台。其占地面积仅为 40×40 毫米。由于具有较高的刚度和最低的共振频率，这些位移台能够应用于高动态场景。
Specification产品规格
| 产品型号 | C2O-L00100 | C2S-D00100 | 单位 | 容差 |
|---|---|---|---|---|
| 位置传感器 | - | SGS | ||
| 开环行程(-45..180 V) | 120x120 | 120x120 | µm | ±10% |
| 闭环行程 | - | 100x100 | µm | |
| 开环分辨率 | 0.5 | 0.5 | nm | typ. |
| 闭环分辨率 | - | 1 | nm | typ. |
| 闭环线性度 | - | 0.2 | % | typ. |
| 闭环重复精度 | - | 10 | nm | typ. |
| 系统串扰 | 200 | 200 | nm | typ. |
| 负载 | 500 | 500 | g | max. |
| 推/拉力 | 15/10 | 15/10 | N | max. |
| 刚度 | 1.5 | 1.5 | N/µm | ±10% |
| 无负载下自振频率 | 370 | 370 | Hz | ±10% |
| 30g负载下自振频率 | 310 | 310 | Hz | ±10% |
| 电容@ 1V eff. 1kHz | 2.2/axis | 2.2/axis | µF | ±10% |
| 壳体材料 | 铝合金，不锈钢 | 铝合金，不锈钢 | ||
| 尺寸 | 40x40x30 | 40x40x30 | mm | |
| 线长 | 1.5 | 1.5 | m | |
| 接头 | Lemosa | DSub | ||
| 工作温度 | -20..+80 | -20..+80 | °C |
可选项:
- 提供真空兼容版本以及无磁版本
- 适配控制, 开环控制器EBO-060100
- 适配的控制器, 闭环控制器, EBD-060310
尺寸图
