IDSH/D12/F2.8/LT/UHV/RAD
IDSH/D12/F2.8/LT/UHV/RAD
Ø 12 mm, length 32.3 mm
D12/F2.8传感器头凭借高角公差、小光斑尺寸以及传感器头与目标之间的短距离而表现出色。它用于直接在表面上进行测量，例如捕获表面结构（轮廓测量）。
该传感器头设计适用于mK至423 K的温度范围、低至5×10⁻¹¹ mbar的压力以及辐射严苛环境。传感器套件包含两根玻璃光纤：一根LT/UHV/RAD兼容玻璃光纤（长度2米），用于连接传感器头与光学穿通件；另一根环境玻璃光纤（长度5米），用于连接穿通件与干涉仪控制器。
| 传感器头 | |
|---|---|
| 光学类型 | 聚焦型 |
| 尺寸 | Ø 12 mm, 长度32.3mm |
| 重量 [g] | 8.8 |
| 安装方式 | 夹紧式 |
| 光斑尺寸 | 14µm |
| 焦距 [mm] | 2.8 |
| 焦距处典型光束直径[µm] | ~ 14 |
| 连接器 | FC/PC |
| 工作范围 (目标: 玻璃) [mm] | 2.8(±4µm) |
| 角度公差 (目标: 玻璃) [°] | ± 4 |
| 工作范围 (目标: 晶圆) [mm] | 2.8(±14µm) |
| 角度公差 (目标: 晶圆) [°] | ± 7 |
| 工作范围 (目标: 镜面) [mm] | 2.8(±20µm) |
| 角度公差 (目标: 镜面) [°] | ±10 |
| 光纤连接 | FC型螺纹连接 |
| 环境 | |
| 压力 | 5E-11 mbar .. 5 bar |
| 温度 | mK .. 423K |
| 主要材料 | |
| 外壳 | 钛合金2级 (3.7035) |
| 镜头 | 玻璃 (带AR C 镀膜) |
| 粘合剂 | 符合NASA放气标准的粘合剂 |
| 交付范围 | |
| 光纤 IDS 馈通 | IDSMF/APC/RT (1009981) |
| 光纤馈通式传感器头 | IDSMF/LT/HV 金属管材 (1015965) |
| 轴数 | 1 |
| 镜面 | Ø 9 mm, 铝涂层 (1010846) |