FSM20 紧凑型音圈快反镜

VOICE COIL FAST SCANNING MIRROR

面向高精度、紧凑型光束指向与稳定应用设计的音圈快反镜。±1.5° 机械角、≤0.5ms 小步长阶越响应、≤0.2μrad 角分辨率，闭环带宽可达 1kHz，是空间受限、动态性能要求高的精密光学系统的理想选择。

±1.5°机械角范围≤0.5ms 1mrad 阶跃响应≤0.2μrad分辨率1kHz闭环带宽

FSM20 紧凑型音圈快反镜2
六大核心优势
KEY ADVANTAGES
01
低功耗
专门设计的低噪声驱动电路确保系统长期运行，具有极低的静态和动态功耗，静态功耗仅 3.5W。
02
低零点漂移
独特的角度传感器测量电路，能有效抑制宽温度范围内的零点漂移，偏置漂移 ≤2μrad/°C。
03
高面形精度
独特的高精度面形控制技术，确保了拼接后极其优异的面形质量，反射镜面形 ≤λ/50（RMS）。
04
高闭环带宽
独特的控制算法有效扩展了音圈驱动系统的闭环带宽，典型闭环带宽可达 1kHz，动态响应优异。
05
高精度
自主研发的高精度角度测量与控制技术，角分辨率 ≤0.2μrad，重复定位精度 ≤2μrad。
06
高环境适应性
对系统、结构和电路的全面优化，工作温度范围支持 0°C~55°C 或 −55°C~+70°C，环境适应性强。
规格参数
SPECIFICATIONS
▸运动与定位
运动自由度
2
小步长阶越响应时间（1mrad）
≤ 0.5ms
角范围（机械角）
±1.5°（±26.2 mrad）
角分辨率
≤ 0.2μrad
重复定位精度
≤ 2μrad
闭环带宽（-3dB@1mrad）
与负载相关，典型 1kHz
▸精度与稳定性
偏置漂移
≤ 2μrad/°C
线性度
≥ 99.80%
▸光学与机械
有效镜片直径
18 mm
反射镜面形
≤ λ/50（RMS）
快反镜主体带镜片重量
200g
驱动器重量
155g
▸电气与环境
位置输入信号
模拟：±10 V 或 ±5 V
输入信号比例系数
0.15°/V 或 0.3°/V
静态功耗
3.5W
电源需求
±15VDC @3A
RMS（MAX）
工作温度范围
0°C ~ 55°C
或 −55°C ~ +70°C
尺寸图
DIMANRSINAL DRAWING
FSM201

FSM20

定制选项
CUSTOMIZATION OPTIONS
◇
角度范围定制
根据应用需求调整机械角范围，覆盖小角度精密偏转到商用级扫描等多种工况。
◇
镜片口径定制
支持多种反射镜口径与面形规格，适配不同光束直径的商用光学系统。
◇
带宽与分辨率
闭环带宽、角分辨率可调，匹配高速扫描或精密指向等差异化应用场景。
◇
光学指标定制
反射镜面形、镀膜、表面精度可按用户光学指标要求定制。
◇
外形与重量
结构尺寸与重量可优化设计，适配空间受限的紧凑型集成应用。
◇
国产化方案
提供全国产化器件替代方案，满足特殊行业自主可控与合规性要求。