电调镜 ESM
Electrically Steering Mirror动智-迅来国产高精度音圈快反镜，采用音圈电机直驱技术，实现快速、精确的二维光束偏转与定位，适用于激光扫描、光通信、半导体检测与自适应光学等精密控制场景。
技术优势
/ Advantages
01
音圈直驱无摩擦
音圈电机直接驱动镜面，无机械传动间隙，运动平滑连续，从根源消除摩擦与磨损。
02
μrad 级角分辨率
≤5μrad 的角分辨率配合 ≤10μrad 重复定位精度，满足亚微米级光束指向控制需求。
03
二自由度独立控制
两轴正交独立驱动，单镜实现二维光束偏转，简化系统光路与机械结构。
04
长期稳定性优异
长时间稳定性 ≤10μrad，无零点漂移困扰，适合长时间连续运行的工业现场。
05
宽电压适应能力
24V±4V 宽范围供电设计，兼容实验室与工业现场多种供电环境。
06
国产化深度定制
镜片口径、角度范围、光学指标、外形重量等均可按需定制，提供完整国产化方案。
产品规格
/ SPECIFICATION
*
角度范围、镜片口径、分辨率、光学指标、外形重量、国产化方案等可根据用户需求定制。
尺寸图
DIMANRSINAL DRAWING
ESM25
ESM50
典型应用
/ APPLICATIONS
01
激光扫描成像
高分辨率光束偏转，适用于激光雷达、3D 扫描与共焦显微。
02
光通信对准
快速精密光束指向控制，用于自由空间光通信链路建立与跟踪。
03
半导体检测
晶圆与掩模光学检测中的高速光束调制与位置对准。
04
自适应光学
波前校正、像差补偿与光束整形中的高速角度调制。