FSM200

200mm 大口径音圈快反镜

VOICE COIL FAST SCANNING MIRROR


大口径、高精度、高可靠性的紧凑型音圈快反镜解决方案，专为半导体检测、激光通信、天文自适应光学及精密测量等应用设计。

±1.5°机械角范围198 mm 有效镜面直径≤1μrad分辨率200Hz闭环带宽

FSM2002
六大核心优势
KEY ADVANTAGES
01
低功耗
专门设计的低噪声驱动电路确保系统长期运行，具有极低的静态和动态功耗，静态功耗仅 6W。
02
低零点漂移
独特的角度传感器测量电路，能有效抑制宽温度范围内的零点漂移，零点漂移 ≤3μrad/°C。
03
高面形精度
独特的高精度面形控制技术，确保了拼接后极其优异的面形质量，表面精度 ≤λ/40（RMS）。
04
高闭环带宽
独特的控制算法有效扩展了音圈驱动系统的闭环带宽，闭环带宽 300Hz（-3dB @ 1mrad）。
05
高精度
自主研发的高精度角度测量与控制技术，分辨率 ≤1μrad，重复性 ≤2μrad（RMS）。
06
高环境适应性
对系统、结构和电路的全面优化，工作温度范围 −55°C~+75°C，环境适应性极强。
规格参数
SPECIFICATIONS

产品规格
/ SPECIFICATION

▸
基本参数
运动自由度
2
有效镜面直径
198 mm
角度范围（机械角度）
±1.5°
工作温度范围
-55°C ~ +75°C
表面精度（RMS）
≤ λ/30

▸
运动与定位
阶跃响应时间 (1 mrad)
≤ 3 ms
分辨率
≤ 1 μrad
重复性（RMS）
≤ 2 μrad
零点漂移
≤ 3 μrad/°C
线性度
≥ 99.80%

▸
电气与控制器
闭环带宽 (-3dB @ 1mrad)
200 Hz
静态功耗
9 W
信号接口（模拟）
±10 V
输入信号比例系数（模拟）
0.15°/V
电源电压
±15VDC @7A RMS (MAX)
尺寸图
DIMANRSINAL DRAWING
FSM200

FSM100

定制选项
CUSTOMIZATION OPTIONS
◇
角度范围定制
根据应用需求调整机械角范围，覆盖小角度精密偏转到商用级扫描等多种工况。
◇
镜片口径定制
支持多种反射镜口径与面形规格，适配不同光束直径的商用光学系统。
◇
带宽与分辨率
闭环带宽、角分辨率可调，匹配高速扫描或精密指向等差异化应用场景。
◇
光学指标定制
反射镜面形、镀膜、表面精度可按用户光学指标要求定制。
◇
外形与重量
结构尺寸与重量可优化设计，适配空间受限的紧凑型集成应用。
◇
国产化方案
提供全国产化器件替代方案，满足特殊行业自主可控与合规性要求。