FSM25小型音圈快反镜

VOICE COIL FAST SCANNING MIRROR

紧凑型双轴精密光束指向控制模块
专为空间受限、性能敏感的光束稳定与跟踪系统打造。采用自主研发的高精度角度测量与控制技术，在低功耗、低漂移与高闭环带宽之间取得优异平衡，广泛应用于半导体、激光通信、精密测量及空间光学等领域。

±1.5°机械角范围23 mm有效镜片直径≤0.5μrad分辨率900Hz闭环带宽

FSM25小型音圈快反镜2
六大核心优势
KEY ADVANTAGES
01
低功耗
专门设计的低噪声驱动电路，确保系统长期运行下仍保持极低的静态与动态功耗。
02
低零点漂移
独特的角度传感器测量电路，能有效抑制宽温度范围内的零点漂移，偏置漂移 ≤2μrad/°C。
03
高面形精度
独特的高精度面形控制技术，确保了拼接后极其优异的面形质量，反射镜面形 ≤λ/50（RMS）。
04
高闭环带宽
独特的控制算法有效扩展了音圈驱动系统的闭环带宽，典型闭环带宽可达 1kHz，动态响应优异。
05
高精度
自主研发的高精度角度测量与控制技术，实现亚微弧度级定位与重复精度。
06
高环境适应性
对系统、结构与电路的全面优化，确保在严苛温度与振动环境下仍保持极佳性能。
规格参数
SPECIFICATIONS

▸
基本参数
运动自由度
2
有效镜片直径
23 mm
角范围（机械角）
±1.5° (±26.2 mrad)
工作温度范围
0 °C ~ 55°C 或 -55°C ~ +70°C
反射镜面形
≤ λ/50 (RMS)
快反镜主体带镜片重量
331.2 g

▸
运动与定位
角分辨率
≤ 0.5 μrad
重复定位精度
≤ 2 μrad
偏置漂移
≤ 2 μrad/°C
线性度
≥ 99.80%
小步长阶越响应时间 (1 mrad)
≤ 0.6 ms

▸
电气与控制器
闭环带宽 (-3dB@1mrad)
900 Hz（与负载镜片重量相关）
静态功耗
4.2 W
电源需求
±15VDC @3A RMS (MAX)
位置输入信号
模拟：±10 V 或 ±5 V
输入信号比例系数
0.15°/V 或 0.3°/V
驱动器重量
155 g
尺寸图
DIMANRSINAL DRAWING
FSM2511

FSM25

定制选项
CUSTOMIZATION OPTIONS
◇
角度范围定制
根据应用需求调整机械角范围，覆盖小角度精密偏转到商用级扫描等多种工况。
◇
镜片口径定制
支持多种反射镜口径与面形规格，适配不同光束直径的商用光学系统。
◇
带宽与分辨率
闭环带宽、角分辨率可调，匹配高速扫描或精密指向等差异化应用场景。
◇
光学指标定制
反射镜面形、镀膜、表面精度可按用户光学指标要求定制。
◇
外形与重量
结构尺寸与重量可优化设计，适配空间受限的紧凑型集成应用。
◇
国产化方案
提供全国产化器件替代方案，满足特殊行业自主可控与合规性要求。