六轴/六自由度并联定位平台真空兼容技术
极端条件下的高精度定位
Symétrie 六足平台专为需要在真空或超高真空环境（低至 10⁻⁶ mbar）中进行精确定位的应用而设计。这些多轴系统在大气条件无法满足要求的环境中，能够提供稳定、可重复的性能。
高真空环境限制了污染、氧化和机械干扰，从而确保了可靠的测量和高精度计量。
专为高真空环境打造的设计
我们的真空兼容六足平台具有以下特点：
低放气材料：精选具有化学和机械稳定性的材料，特别针对线缆进行了优化，
真空兼容润滑剂：确保平滑运动，且不会产生颗粒排放，
高真空兼容电机和传感器：保证精确的运动控制。
每个组件都经过优化，能够承受真空环境中固有的热应力和物理应力，同时保持亚微米级的定位稳定性和精度。
