Hexapod用于X光扫描位置调整系统
量身定制的解决方案,以适应约束
Symetrie的六自由度并联定位平台特别适合同步加速器的特定和苛刻的需求。
它们可以对准各种组件:样品,镜子,真空室等,具有高分辨率,高稳定性和高刚度。
支持定制,并且可以将六自由度并联定位平台控制集成到第三方软件中。
项目背景
THOMX是一种紧凑的x射线源,它利用康普顿效应来放大能量并产生几十千伏的“硬”x射线。
这个70平方米的装置位于法国奥赛的IJCLAB(前身为LAL,直线加速器实验室)。
IJCLAB由法国国家科学研究中心和巴黎第一大学联合管理。
客户要求
在ThomX X射线源的实验舱中,单色仪、样品、检测器三者之间的相对定位要求非常高的精度和通用性。
解决方案
Symetrie提供了一个全面的交钥匙解决方案。为适应可用空间,同时优化工作空间,方案中采用两个定制的ZONDA六轴并联定位平台,。一个用于定位样品,另一个是单色仪。来自LAB运动系统的360°空气轴承旋转台集成到样品定位六轴并联定位平台中。
另外两个空气轴承旋转装置安装在六轴并联定位平台下,以使检测器和样品相对于单色仪和光束进行相对运动。
Symetrie还提供了天然花岗岩底座,具有出色的平整度,以便安装设备,允许高精度运动,具有出色的稳定性。
项目规格
■2个定制的ZONDA六轴并联定位平台,其中一个包括360°空气轴承旋转平台
■绝对编码器,无需走初始化寻零流程
■3个气轴承旋转台
■TANGO 15轴控制(无刷电机,部分直接驱动)
■Sphere of confusion范围:10µm
■六轴并联定位辨率:0.1µm, 1µrad


ZONDA六轴并联定位台
ZONDA Six-Axis Parallel Positioning Stage
专为高达 400 公斤有效负载设计,分辨率仅 0.1 微米。XY 方向 400 毫米,Z 方向 300 毫米,旋转方向 40 度。
集成热膨胀系数极低的invar元件、直线绝对编码器执行机构以及高刚性铰链设计,具备无与伦比的精度和热稳定性。
可适用于任意方向:垂直、水平、倒置等。



