皮米激光测距干涉仪

IDS3010 MULTI-AXIS LASER INTERFEROMETER

attocube IDS3010 皮米精度多轴距离测量系统,实现 10 ppb 真空波长精度与波长稳定性,可在超高真空、超低温、强磁场等极端环境下长期稳定工作,广泛应用于半导体测量与控制、精密光学测量、航空航天以及同步辐射大科学装置等前沿领域。

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